- 파티클, 온도, 습도, 차압 4WAY 측정
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- 저비용의 다중포인트 데이터 측정 및 모니터링
파티클, 온도, 습도, 차압 4WAY 측정
- 클린룸의 파티클을 0.5 ㎛ 측정이 가능
- 온도,습도 실시간 측정
- 정밀한 미세차압 측정
PSU520(파티클센서) & DP100(디지털차압센서) 전용 모니터링
- 전용터치스크린모니터와 손쉬운 모니터링 및 분석이 가능
- PSU520 (파티클,온도,습도) + DP100 (차압) 다양한 확장성
신뢰할수있는 정확한 실시간 측정데이터
- 레이저 다이이오드 광원을 통한 파티클 측정
- 최대 500,000 #/CF 측정농도와 1# / 5 min 제로카운트
- 높은 분해능, 빠른 반응속도, 압력단위선택가능
저비용의 다중포인트 데이터 측정
- 컴팩트한 크기의 센서로 다양한곳에 배치 가능
- 가장 경제적인 비용으로 파티클 및 온습도 모니터링실현